PZT铁电薄膜电极材料研究进展
来源期刊：稀有金属材料与工程2008年第2期
论文作者：孙秋 成海涛 王福平
关键词：PZT; 铁电薄膜; 电极; 铁电性能;
摘 要：近几年,PZT铁电存储器的商业应用受到了广泛关注,但PZT电容器的疲劳现象已成为其应用的严重障碍,变换电极是改善PZT电容器抗疲劳特性的有效方法.系统地介绍了PZT铁电薄膜用电极材料的结构、性能及其特点,比较了不同电极材料对PZT铁电薄膜结构及铁电性能的影响,并对导电金属氧化物电极改善抗疲劳特性的机制进行了一定的分析,提出了电极材料的主要问题和发展方向.
孙秋1，成海涛1，王福平1
(1.哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001)
摘要:近几年,PZT铁电存储器的商业应用受到了广泛关注,但PZT电容器的疲劳现象已成为其应用的严重障碍,变换电极是改善PZT电容器抗疲劳特性的有效方法.系统地介绍了PZT铁电薄膜用电极材料的结构、性能及其特点,比较了不同电极材料对PZT铁电薄膜结构及铁电性能的影响,并对导电金属氧化物电极改善抗疲劳特性的机制进行了一定的分析,提出了电极材料的主要问题和发展方向.
关键词:PZT; 铁电薄膜; 电极; 铁电性能;
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