CO2激光辅助加工PMMA微流控芯片中的重铸物现象
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第2期
论文作者：李经民 祝连义 刘冲
关键词：CO2激光; PMMA微流控芯片; 重铸物;
摘 要：根据实验现象分析了CO2激光制作PMMA微流控芯片储液池过程中,材料的流动与变形过程,以及凸起重铸物形成对芯片制作的影响.考察了激光功率、扫描速度以及材料取向对流变行为的作用及其机理.实验中采用不同的激光光束功率以及扫描速度,分析热量吸收的大小对材料流动与变形的影响,比较了挤出PMMA在顺着挤出方向与垂直于挤出方向切割时实验结果的不同.CO2激光加工PMMA过程中,材料在激光的热作用下发生软化、熔化及汽化.软化材料在汽化材料产生的气体压力作用下发生流动与变形,形成了沟道表面的凸起重铸物.实验结果表明热量及材料内部存在的取向对其流动与变形及凸起重铸的形成起着重要的作用.
李经民1，祝连义1，刘冲1
(1.辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连理工大学,大连,116023;
2.大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室,大连,116023)
摘要:根据实验现象分析了CO2激光制作PMMA微流控芯片储液池过程中,材料的流动与变形过程,以及凸起重铸物形成对芯片制作的影响.考察了激光功率、扫描速度以及材料取向对流变行为的作用及其机理.实验中采用不同的激光光束功率以及扫描速度,分析热量吸收的大小对材料流动与变形的影响,比较了挤出PMMA在顺着挤出方向与垂直于挤出方向切割时实验结果的不同.CO2激光加工PMMA过程中,材料在激光的热作用下发生软化、熔化及汽化.软化材料在汽化材料产生的气体压力作用下发生流动与变形,形成了沟道表面的凸起重铸物.实验结果表明热量及材料内部存在的取向对其流动与变形及凸起重铸的形成起着重要的作用.
关键词:CO2激光; PMMA微流控芯片; 重铸物;
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