基于SU8和PMMA的毛细管电泳芯片制作
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第2期
论文作者：朱学林 刘刚 田扬超 褚家如 熊瑛
关键词：SU8; PMMA; 毛细管电泳芯片;
摘 要：提出了一种简易的基于SU8和PMMA的电泳芯片的制作方法,研究了PMMA基底上SU8胶微管道的光刻和薄膜微电极的lift-off制作工艺,探讨了PMMA材料特性对薄膜微电极和SU8胶光刻的影响,通过热压方法完成芯片的键合封装,实现了一种快速、高质量的电泳芯片制作工艺,同时与电泳芯片的UV-LIGA工艺具有很好的兼容性.
朱学林1，刘刚2，田扬超2，褚家如1，熊瑛2
(1.中国科学技术大学精密机械仪器系,安徽合肥,230026;
2.国家同步辐射实验室,安徽合肥,230026)
摘要:提出了一种简易的基于SU8和PMMA的电泳芯片的制作方法,研究了PMMA基底上SU8胶微管道的光刻和薄膜微电极的lift-off制作工艺,探讨了PMMA材料特性对薄膜微电极和SU8胶光刻的影响,通过热压方法完成芯片的键合封装,实现了一种快速、高质量的电泳芯片制作工艺,同时与电泳芯片的UV-LIGA工艺具有很好的兼容性.
关键词:SU8; PMMA; 毛细管电泳芯片;
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