多层式金刚石薄膜的制备工艺研究
来源期刊：功能材料与器件学报2006年第2期
论文作者：刘健敏 史伟民 夏义本 苏青峰 蒋丽雯 王林军 崔江涛 阮建锋
关键词：纳米金刚石; HFCVD; 表面粗糙度; 声表面波;
摘 要：利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜.场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.81μm和18.8nm(2μm×2μm),皆能满足高频声表面波器件用衬底的要求.实验结果表明,多层式生长方法是制备声表面波器件用金刚石衬底的理想方法.
刘健敏1，史伟民1，夏义本1，苏青峰1，蒋丽雯1，王林军1，崔江涛1，阮建锋1
(1.上海大学材料科学与工程学院,上海,200072)
摘要:利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜.场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.81μm和18.8nm(2μm×2μm),皆能满足高频声表面波器件用衬底的要求.实验结果表明,多层式生长方法是制备声表面波器件用金刚石衬底的理想方法.
关键词:纳米金刚石; HFCVD; 表面粗糙度; 声表面波;
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