G6 AMOLED用宽幅钼平面溅射靶材的研制
来源期刊：功能材料与器件学报2019年第4期
论文作者：单玉郎 方宏 孙虎民 张雪凤
文章页码：253 - 256
关键词：钼靶材;轧制温度;晶粒尺寸;
摘 要：本文进行了宽幅一体钼靶材的烧结和轧制工艺试验,探讨了开坯轧制温度对靶材组织及性能的影响。结果表明:轧制温度过低造成靶材组织不均匀,内部缺陷较多;轧制温度过高容易引起靶材晶粒粗大。选择适宜的轧制温度,采取多火多道次工艺轧制,并在适当温度退火后,能够得到晶粒尺寸小于100μm的细小均匀组织。
单玉郎，方宏，孙虎民，张雪凤
摘 要：本文进行了宽幅一体钼靶材的烧结和轧制工艺试验,探讨了开坯轧制温度对靶材组织及性能的影响。结果表明:轧制温度过低造成靶材组织不均匀,内部缺陷较多;轧制温度过高容易引起靶材晶粒粗大。选择适宜的轧制温度,采取多火多道次工艺轧制,并在适当温度退火后,能够得到晶粒尺寸小于100μm的细小均匀组织。
关键词：钼靶材;轧制温度;晶粒尺寸;
