热处理温度对钼靶材微观组织和性能的影响
来源期刊：中国钼业2014年第5期
论文作者：张国君 马杰 安耿 孙院军
文章页码：47 - 104
关键词：钼靶材;热处理温度;再结晶;伏安特性曲线;
摘 要：通过定量金相技术和显微硬度测试等方法,研究了热处理温度对钼溅射靶材的微观组织、硬度及I-U曲线的影响规律。研究结果表明,钼靶材晶粒尺寸随着热处理温度的升高而增大,而靶材硬度随之呈下降趋势。钼靶材在1 200℃进行1 h热处理,晶粒尺寸分布最均匀。所研究钼靶材的I-U曲线均符合Thornton经验公式,热处理温度为1 200℃的靶材具有最佳的磁控溅射放电性能。
张国君1,2，马杰2，安耿3，孙院军3
1. 西安交通大学2. 西安理工大学3. 金堆城钼业股份有限公司技术中心
摘 要：通过定量金相技术和显微硬度测试等方法,研究了热处理温度对钼溅射靶材的微观组织、硬度及I-U曲线的影响规律。研究结果表明,钼靶材晶粒尺寸随着热处理温度的升高而增大,而靶材硬度随之呈下降趋势。钼靶材在1 200℃进行1 h热处理,晶粒尺寸分布最均匀。所研究钼靶材的I-U曲线均符合Thornton经验公式,热处理温度为1 200℃的靶材具有最佳的磁控溅射放电性能。
关键词：钼靶材;热处理温度;再结晶;伏安特性曲线;
