TiN涂层的微观组织结构及力学性能分析
来源期刊：硬质合金2006年第1期
论文作者：李佳 陈利 尹飞 汪秀全
关键词：TiN涂层; 硬质合金; 硬度; 结合力;
摘 要：借助XRD、纳米压痕、SEM和划痕仪研究了采用磁控溅射在硬质合金基体上沉积的TiN、(Ti,Al)N单层和TiN/(Ti,A I)N多层涂层的组织结构和力学性能.研究表明:面心立方结构的TiN涂层晶粒形貌为典型的喇叭口结构,沿(200)、(111)择优生长;TiN涂层的硬度为24.6GPa;与硬质合金基体的结合强度约为62N.
李佳1，陈利2，尹飞2，汪秀全2
(1.株硬集团株洲钻石切削刀具股份有限公司,湖南,株洲,412007;
2.中南大学粉末冶金国家重点实验室,湖南,长沙,410083)
摘要:借助XRD、纳米压痕、SEM和划痕仪研究了采用磁控溅射在硬质合金基体上沉积的TiN、(Ti,Al)N单层和TiN/(Ti,A I)N多层涂层的组织结构和力学性能.研究表明:面心立方结构的TiN涂层晶粒形貌为典型的喇叭口结构,沿(200)、(111)择优生长;TiN涂层的硬度为24.6GPa;与硬质合金基体的结合强度约为62N.
关键词:TiN涂层; 硬质合金; 硬度; 结合力;
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