工艺参数对201无镍不锈钢溅射沉积金属钛膜结构的影响及薄膜附着性

来源期刊：稀有金属材料与工程2011年第S2期

论文作者：蓝德均 赖奇 黄双华 邹敏

文章页码：409 - 412

关键词：201无镍不锈钢;磁控溅射;钛薄膜;择优取向;附着强度;

摘    要：采用常温直流磁控溅射法在201无镍不锈钢表面沉积了纯钛薄膜。XRD分析表明,薄膜是六方金属钛结构,并且膜相数量受沉积条件的影响。钛薄膜一般具有高度的择优取向,但其择优取向的晶面并不固定,也会出现多个晶面择优生长现象。个别工艺参数下,由于钛原子的渗入,基底发生较严重的晶格畸变。利用拉脱法评估了负偏压对钛膜与201基底附着强度的影响。