退火时间对FeGaB/Al₂O₃多层薄膜性能的影响

来源期刊：磁性材料及器件2020年第3期

论文作者：徐德超 周俊 林亚宁 倪经 张明 邹延珂 黄河

文章页码：6 - 8

关键词：FeGaB/Al₂O₃;多层薄膜;退火时间;铁磁共振线宽;

摘    要：现代电子元器件的高速发展,以及磁性元器件小型化、集成化需求日益增长,推动了纳米级磁性功能薄膜材料的研究。以高饱和磁致伸缩系数、低矫顽力的FeGaB薄膜材料为研究基础,以提高薄膜软磁性能为目标,使用脉冲激光沉积系统制备了Fe Ga B/Al₂O₃复合多层薄膜,发现在350℃的生长环境下,未退火的样品成膜质量较好,但软磁性能一般。为了提高磁性能,进行一组不同退火时间下的退火实验,实验发现样品的铁磁共振线宽较大,且退火时间对吸收峰强度影响较大。