超硬多层薄膜的研究现状及展望
来源期刊：材料保护2005年第7期
论文作者：宋绪丁 李宁
关键词：超硬多层薄膜; 超晶格薄膜; 纳米多层膜; 类金刚石;
摘 要：超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应.由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点.综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多层薄膜类型、主要性能特点以及制备工艺,并对未来的发展趋势进行了展望.
宋绪丁1，李宁1
(1.长安大学工程机械学院,陕西,西安,710064)
摘要:超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应.由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点.综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多层薄膜类型、主要性能特点以及制备工艺,并对未来的发展趋势进行了展望.
关键词:超硬多层薄膜; 超晶格薄膜; 纳米多层膜; 类金刚石;
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