钛酸铋薄膜退火时间的研究
来源期刊：兵器材料科学与工程2002年第5期
论文作者：张金春 李岩 苏学军
关键词：快速退火; 铁电薄膜; 金属有机化学气相沉积; X射线衍射;
摘 要：采用金属有机化学气相沉积工艺和快速退火工艺,在硅(100)基片上制备高度择优取向的Bi4Ti3O12铁电薄膜,运用X射线衍射术分析薄膜材料的结构,通过测量材料的电滞回线和漏电流密度,研究快速退火对Bi4Ti3O12薄膜电性能的影响.在优化的工艺条件下,Bi4Ti3O12铁电薄膜的剩余极化强度(Pr)为8μC/cm2,漏电流密度为10-11 A/cm2.
张金春1，李岩2，苏学军1
(1.海军航空工程学院,理化教研室,烟台,264001;
2.海军航空工程学院,电工教研室,烟台,264001)
摘要:采用金属有机化学气相沉积工艺和快速退火工艺,在硅(100)基片上制备高度择优取向的Bi4Ti3O12铁电薄膜,运用X射线衍射术分析薄膜材料的结构,通过测量材料的电滞回线和漏电流密度,研究快速退火对Bi4Ti3O12薄膜电性能的影响.在优化的工艺条件下,Bi4Ti3O12铁电薄膜的剩余极化强度(Pr)为8μC/cm2,漏电流密度为10-11 A/cm2.
关键词:快速退火; 铁电薄膜; 金属有机化学气相沉积; X射线衍射;
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