激光诱导硅基Al-Ti金属膜构建各向异性表面及其浸润特性
来源期刊：功能材料2007年第4期
论文作者：管自生 路晓
关键词：激光刻蚀; Al-Ti金属膜; 各向异性; 浸润性;
摘 要：利用脉冲激光在Si表面刻蚀微米级四方柱,通过多靶磁控溅射镀膜机在其表面上沉积Al-Ti双层金属膜,然后利用激光诱导金属涂层形变,在四方柱的硅基底上形成定向微渠道,通过测量水与定向微渠道表面的接触角(前进角和后退角)研究各向异性表面浸润性特性.结果表明,在硅基底上构建的Al-Ti金属膜各向异性表面表现出水滴的前进角和后退角都较大,各向异性结构对其浸润性有明显的影响.因此,利用激光可以在固体表面制备各向异性表面, 控制表面的润湿行为.
管自生1，路晓1
(1.南京工业大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,210009)
摘要:利用脉冲激光在Si表面刻蚀微米级四方柱,通过多靶磁控溅射镀膜机在其表面上沉积Al-Ti双层金属膜,然后利用激光诱导金属涂层形变,在四方柱的硅基底上形成定向微渠道,通过测量水与定向微渠道表面的接触角(前进角和后退角)研究各向异性表面浸润性特性.结果表明,在硅基底上构建的Al-Ti金属膜各向异性表面表现出水滴的前进角和后退角都较大,各向异性结构对其浸润性有明显的影响.因此,利用激光可以在固体表面制备各向异性表面, 控制表面的润湿行为.
关键词:激光刻蚀; Al-Ti金属膜; 各向异性; 浸润性;
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