脉冲激光沉积方法生长硅基ZnO薄膜的特性
来源期刊：功能材料2006年第6期
论文作者：刘亦安 田德恒 庄惠照 吴玉新 薛成山 何建廷 薛守斌 胡丽君
关键词：PLD; ZnO; 薄膜; 六方纤锌矿结构; PLD; ZnO; thin films; hexagonal wurtzite structure;
摘 要：用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)平面上生长ZnO薄膜.X射线衍射(XRD)在2θ=34°处出现了唯一的衍射峰,半高宽为0.75°;傅里叶红外吸收(FTIR)在414.92cm-1附近出现了对应Zn-O键的红外光谱的特征吸收峰;光致发光(PL)测量发现了位于370和460nm处的室温光致发光峰;扫描电子显微镜(SEM)和选区电子衍射(SAED)显示了薄膜的表面形貌以及晶格结构.利用PLD法制备了具有c轴取向高度一致的六方纤锌矿结构ZnO薄膜.
刘亦安1，田德恒1，庄惠照1，吴玉新1，薛成山1，何建廷1，薛守斌1，胡丽君1
(1.山东师范大学,半导体研究所,山东,济南,250014)
摘要:用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)平面上生长ZnO薄膜.X射线衍射(XRD)在2θ=34°处出现了唯一的衍射峰,半高宽为0.75°;傅里叶红外吸收(FTIR)在414.92cm-1附近出现了对应Zn-O键的红外光谱的特征吸收峰;光致发光(PL)测量发现了位于370和460nm处的室温光致发光峰;扫描电子显微镜(SEM)和选区电子衍射(SAED)显示了薄膜的表面形貌以及晶格结构.利用PLD法制备了具有c轴取向高度一致的六方纤锌矿结构ZnO薄膜.
关键词:PLD; ZnO; 薄膜; 六方纤锌矿结构; PLD; ZnO; thin films; hexagonal wurtzite structure;
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