Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银

来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2002年第4期

论文作者：孙克 赵岩 张彩碚 李正林

文章页码：391 - 393

关键词：Nd:YAG脉冲激光;激光诱导化学沉积;选区化学镀;Si基底;

摘    要：Nd :YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3 薄膜 ,薄膜热分解产生的Ag沉积在Si基底表面形成沉积线· 在激光功率为 2 8W ,频率为 35Hz时 ,最高扫描速度为 9mm/s·SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面 ,AES研究沉积线表面元素随深度分布情况·以Ag颗粒为催化中心 ,在沉积线表面选区化学镀铜 ,超声振动显示镀铜膜与基底有良好的结合力· 简单分析了沉积线表面Ag颗粒形状及表面凹坑出现的原因