AlN系硬质薄膜研究的现状和进展

来源期刊：材料保护2020年第5期

论文作者：张驰 张钧 彭立静 曲梓萌

文章页码：111 - 116

关键词：AlN系硬质薄膜;性能;研究;展望;

摘    要：AlN是典型的第三代半导体材料,具有良好的介电性能、力学性能及光热性能。AlN系硬质薄膜在光、电以及机械等领域发挥着巨大作用。随着薄膜制备工艺的不断发展,AlN系硬质薄膜展现出了极大的发展潜力和应用前景。通过整理AlN系硬质薄膜的研究成果以及发展的相关资料,对AlN系硬质薄膜的性能进行了全面阐述,指出了AlN系硬质薄膜性能优化的方法,并对AlN系硬质薄膜的研究以及应用方向进行了展望。