纳米硬质薄膜的研究进展
来源期刊：稀有金属与硬质合金2005年第3期
论文作者：陶斯武 雷诺 曲选辉
文章页码：37 - 96
关键词：纳米硬质薄膜;硬度;纳米多层膜;纳米复合膜;
摘 要：介绍了纳米硬质薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能、应用前景,综述了近几年来国内外纳米硬质薄膜材料研究的最新进展,对纳米硬质薄膜的发展趋势提出了一些看法。
陶斯武，雷诺，曲选辉
摘 要：介绍了纳米硬质薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能、应用前景,综述了近几年来国内外纳米硬质薄膜材料研究的最新进展,对纳米硬质薄膜的发展趋势提出了一些看法。
关键词：纳米硬质薄膜;硬度;纳米多层膜;纳米复合膜;
