ZrN系硬质膜的研究进程与展望
来源期刊：材料保护2019年第10期
论文作者：杨晨 张钧 孙宇菲 彭立静
文章页码：134 - 139
关键词：ZrN系硬质薄膜;硬度;耐磨性;抗氧化性;耐腐蚀性;
摘 要：以ZrN硬质薄膜为基础,通过添加金属元素,可以形成多组元硬质薄膜体系。从制备方法、晶体结构、硬度、耐磨性、抗氧化性、耐腐蚀性、电气性能等方面对ZrN系硬质薄膜的发展现状进行了讨论和分析,给出了比较和评述。在此基础上,提出了ZrN系硬质薄膜今后的研究和应用发展方向。
杨晨，张钧，孙宇菲，彭立静
沈阳大学机械工程学院
摘 要：以ZrN硬质薄膜为基础,通过添加金属元素,可以形成多组元硬质薄膜体系。从制备方法、晶体结构、硬度、耐磨性、抗氧化性、耐腐蚀性、电气性能等方面对ZrN系硬质薄膜的发展现状进行了讨论和分析,给出了比较和评述。在此基础上,提出了ZrN系硬质薄膜今后的研究和应用发展方向。
关键词：ZrN系硬质薄膜;硬度;耐磨性;抗氧化性;耐腐蚀性;
