化学气相沉积金刚石膜的研究与应用进展
来源期刊：材料热处理学报2010年第1期
论文作者：吕反修
关键词：金刚石膜; 化学气相沉积; 多功能材料; 产业化; diamond film; chemical vapor deposition (CVD); multi-functional material; commercialization;
摘 要：化学气相沉积(CVD)金刚石膜具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、力学、声学和电化学性能的组合,因此在一系列高新技术领域有非常好的应用前景,并曾在20世纪80年代中期形成席卷全球的"金刚石热".30余年来, CVD金刚石膜研究取得了极其巨大的进展,但在产业化应用方面仍不尽人意.本文对此进行了比较详尽地综述和评论,希望更多的人了解,并推进其研究和产业化进展.
吕反修1
(1.北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083)
摘要:化学气相沉积(CVD)金刚石膜具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、力学、声学和电化学性能的组合,因此在一系列高新技术领域有非常好的应用前景,并曾在20世纪80年代中期形成席卷全球的"金刚石热".30余年来, CVD金刚石膜研究取得了极其巨大的进展,但在产业化应用方面仍不尽人意.本文对此进行了比较详尽地综述和评论,希望更多的人了解,并推进其研究和产业化进展.
关键词:金刚石膜; 化学气相沉积; 多功能材料; 产业化; diamond film; chemical vapor deposition (CVD); multi-functional material; commercialization;
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