固态薄膜电解质LiPON的制备及性能研究
来源期刊：材料导报2006年增刊第2期
论文作者：李德湛 胡宗倩 程玉龙 谢凯
关键词：LiPON; 固态电解质; 薄膜; 射频磁控溅射;
摘 要：采用Li3PO4为靶材,在高纯N2气氛中通过射频磁控溅射的方法制备了非晶态结构的固态电解质LiPON薄膜.结果表明,在溅射功率150W、工作气压为1.5Pa时,LiPON薄膜离子电导率达3×10-6S/cm,电化学稳定窗口为5V.
李德湛1，胡宗倩1，程玉龙1，谢凯1
(1.国防科学技术大学航天与材料工程学院,长沙,410073)
摘要:采用Li3PO4为靶材,在高纯N2气氛中通过射频磁控溅射的方法制备了非晶态结构的固态电解质LiPON薄膜.结果表明,在溅射功率150W、工作气压为1.5Pa时,LiPON薄膜离子电导率达3×10-6S/cm,电化学稳定窗口为5V.
关键词:LiPON; 固态电解质; 薄膜; 射频磁控溅射;
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