ZnO薄膜及其性能研究进展
来源期刊：无机材料学报2001年第3期
论文作者：刘少波 曾亦可 刘梅冬 黄焱球
关键词：ZnO薄膜; 制备; 性质; 发展前景;
摘 要：ZnO薄膜是一种具有优良的压电、光电、气敏、压敏等性质的材料，在透明导体、发光元件、太阳能电池窗口材料、光波导器、单色场发射显示器材料、高频压电转换器、表面声波元件、微传感器以及低压压敏电阻器等方面具有广泛的用途。ZnO薄膜的制备方法多样，各具优缺点，而薄膜性质的差异则取决于不同的掺杂组分，并与制备工艺紧密相关。本文综述了ZnO薄膜的制备及性质特征，并对其发展趋势及前景进行了探讨。
刘少波1，曾亦可1，刘梅冬1，黄焱球1
(1.华中科技大学电子科学与技术系,)
摘要:ZnO薄膜是一种具有优良的压电、光电、气敏、压敏等性质的材料，在透明导体、发光元件、太阳能电池窗口材料、光波导器、单色场发射显示器材料、高频压电转换器、表面声波元件、微传感器以及低压压敏电阻器等方面具有广泛的用途。ZnO薄膜的制备方法多样，各具优缺点，而薄膜性质的差异则取决于不同的掺杂组分，并与制备工艺紧密相关。本文综述了ZnO薄膜的制备及性质特征，并对其发展趋势及前景进行了探讨。
关键词:ZnO薄膜; 制备; 性质; 发展前景;
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