Ta_2O_5薄膜制备的研究现状及进展
来源期刊：材料导报2010年第1期
论文作者：高亮 杨建广 陈胜龙
关键词：Ta_2O_5; 薄膜; 制备方法; Ta_2O_5; thin films; preparation method;
摘 要：Ta_2O_5薄膜具有很好的电学性能和光学性能,制备方法种类繁多,如溶胶-凝胶法(Sol-gel)、化学气相沉积法、电子束蒸发技术、溅射法、Ta层阳极氧化或热氧化法、离子辅助沉积法(IBAD)、原子层沉积法(ALD)等.评述了现有各种制备方法的优缺点,综述了Ta_2O_5薄膜各种方法制备的条件、薄膜的功能性质等,并评析了金属有机化合物为前驱体制备性能优良的Ta_2O_5薄膜的前景.
高亮1，杨建广1，陈胜龙1
(1.中南大学冶金科学与工程学院,长沙,410083)
摘要:Ta_2O_5薄膜具有很好的电学性能和光学性能,制备方法种类繁多,如溶胶-凝胶法(Sol-gel)、化学气相沉积法、电子束蒸发技术、溅射法、Ta层阳极氧化或热氧化法、离子辅助沉积法(IBAD)、原子层沉积法(ALD)等.评述了现有各种制备方法的优缺点,综述了Ta_2O_5薄膜各种方法制备的条件、薄膜的功能性质等,并评析了金属有机化合物为前驱体制备性能优良的Ta_2O_5薄膜的前景.
关键词:Ta_2O_5; 薄膜; 制备方法; Ta_2O_5; thin films; preparation method;
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