CVI制备Si3N4p/Si3N4透波材料表征与性能
来源期刊：无机材料学报2006年第4期
论文作者：成来飞 张立同 徐永东 刘永胜 刘谊
关键词：Si3N4P/Si3N4透波材料; 化学气相渗透(CVI); 弯曲强度; 介电常数;
摘 要：以SiCl4-NH3-H2为反应体系,采用化学气相渗透(CVI)法制备Si3N4P/Si3N4透波材料.XRF测试表明试样主要含Si、N、O三种元素.XRD测试表明复合材料主要成分为α-Si3N4和非晶沉积物和非晶SiO2,并有微量的β-Si3N4和晶体Si,高温热处理可使非晶沉积物转变为α-Si3N4和β-Si3N4.SEM照片显示颗粒团间结合不够致密,残留气孔偏大.试样的弯曲强度最高为94MPa,介电常数为4.1～4.8.
成来飞1，张立同1，徐永东1，刘永胜1，刘谊1
(1.西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室,西安,710072)
摘要:以SiCl4-NH3-H2为反应体系,采用化学气相渗透(CVI)法制备Si3N4P/Si3N4透波材料.XRF测试表明试样主要含Si、N、O三种元素.XRD测试表明复合材料主要成分为α-Si3N4和非晶沉积物和非晶SiO2,并有微量的β-Si3N4和晶体Si,高温热处理可使非晶沉积物转变为α-Si3N4和β-Si3N4.SEM照片显示颗粒团间结合不够致密,残留气孔偏大.试样的弯曲强度最高为94MPa,介电常数为4.1～4.8.
关键词:Si3N4P/Si3N4透波材料; 化学气相渗透(CVI); 弯曲强度; 介电常数;
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