CVD金刚石薄膜热,导率的研究
来源期刊：理化检验物理分册2002年第2期
论文作者：刘正义 瞿全炎 邱万奇 黄元盛 陈灵
关键词：直流等离子体射流法; CVD金刚石膜; 热导率;
摘 要：研究了直流等离子体喷射沉积金刚石膜的晶粒尺寸、晶粒取向、膜厚、杂质和缺陷对金刚石膜的热导率的影响.结果表明,随着晶粒尺寸的增大,金刚石膜的热导率先慢后快逐渐增大;随着膜的增厚,热导率先大幅度提高,达到一定值后,变化率变小;晶粒(111)取向对金刚石膜的热导率最有利,其次是(110);非金刚石碳相和缺陷都降低膜的热导率,但晶间空隙对热导率的影响比非金刚石碳相大.
刘正义1，瞿全炎1，邱万奇1，黄元盛1，陈灵1
(1.华南理工大学机电系,广州,510641)
摘要:研究了直流等离子体喷射沉积金刚石膜的晶粒尺寸、晶粒取向、膜厚、杂质和缺陷对金刚石膜的热导率的影响.结果表明,随着晶粒尺寸的增大,金刚石膜的热导率先慢后快逐渐增大;随着膜的增厚,热导率先大幅度提高,达到一定值后,变化率变小;晶粒(111)取向对金刚石膜的热导率最有利,其次是(110);非金刚石碳相和缺陷都降低膜的热导率,但晶间空隙对热导率的影响比非金刚石碳相大.
关键词:直流等离子体射流法; CVD金刚石膜; 热导率;
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