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CVD金刚石薄膜晶粒尺寸对热导率的影响

来源期刊：兵器材料科学与工程2001年第4期

论文作者：丘万奇刘正义瞿全炎黄元盛

关键词：金刚石; 薄膜; 晶粒尺寸; 热导率;

摘要：用直流等离子喷射法,以甲烷、氢和氩气的混合气体为原料,在钼基体上合成了较高质量的CVD金刚石薄膜.对该薄膜的生长面及其背面的晶粒尺寸进行了研究,指出其-般规律,进一步探讨了CVD金刚石薄膜的晶粒尺寸对其热导率的影响规律.

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丘万奇¹，刘正义¹，瞿全炎¹，黄元盛¹

(1.华南理工大学)

摘要:用直流等离子喷射法,以甲烷、氢和氩气的混合气体为原料,在钼基体上合成了较高质量的CVD金刚石薄膜.对该薄膜的生长面及其背面的晶粒尺寸进行了研究,指出其-般规律,进一步探讨了CVD金刚石薄膜的晶粒尺寸对其热导率的影响规律.

关键词:金刚石; 薄膜; 晶粒尺寸; 热导率;

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