射频磁控溅射含氟羟基磷灰石涂层的研究
来源期刊：材料科学与工程学报2006年第3期
论文作者：井晓天 盛敏 赵康
关键词：含氟羟基磷灰石; 生物涂层; 射频磁控溅射; 钛合金(Ti6Al4V);
摘 要：本文采用射频磁控溅射技术在钛合金(Ti6Al4V)基体上制备出含氟羟基磷灰石(FHA)生物涂层,探讨该涂层组织结构,不同氟含量和温度对涂层晶化程度的影响.利用扫描电镜(SEM)观察FHA生物涂层的表面形貌,采用X射线衍射仪(XRD)分析涂层相结构,利用能量分散谱仪(EDS)分析涂层的Ca/P比.结果表明,随着氟含量的增加可大大提高涂层的晶化程度,制备的FHA涂层致密、均匀.700℃晶化处理的涂层结晶度较高.
井晓天1，盛敏1，赵康1
(1.西安理工大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710048)
摘要:本文采用射频磁控溅射技术在钛合金(Ti6Al4V)基体上制备出含氟羟基磷灰石(FHA)生物涂层,探讨该涂层组织结构,不同氟含量和温度对涂层晶化程度的影响.利用扫描电镜(SEM)观察FHA生物涂层的表面形貌,采用X射线衍射仪(XRD)分析涂层相结构,利用能量分散谱仪(EDS)分析涂层的Ca/P比.结果表明,随着氟含量的增加可大大提高涂层的晶化程度,制备的FHA涂层致密、均匀.700℃晶化处理的涂层结晶度较高.
关键词:含氟羟基磷灰石; 生物涂层; 射频磁控溅射; 钛合金(Ti6Al4V);
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