铝箔表面复合阳极氧化膜研究
来源期刊：功能材料2004年第5期
论文作者：陈金菊 顾德恩 杨邦朝 冯哲圣
关键词：阳极箔; 介电常数; 浸渍; 复合阳极氧化膜;
摘 要：采用溶液浸渍法在低压腐蚀铝箔表面沉积一层Ti氧化物,然后将试样在有机盐水溶液中阳极氧化至20.0V.在恒流升压过程中,记录电压-时间曲线.借助XPS和XRD等分析手段分析阳极氧化膜结构,并对复合阳极氧化膜的生长机理进行了探讨.结果表明:含Ti处理液浸渍处理后,试样阳极氧化的电压-时间曲线斜率显著增大,阳极氧化膜是由Al2O3和TiO2构成的复合阳极氧化膜,其介电常数高于Al2O3阳极氧化膜,使阳极箔比容提高24.8%.
陈金菊1，顾德恩1，杨邦朝1，冯哲圣1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)
摘要:采用溶液浸渍法在低压腐蚀铝箔表面沉积一层Ti氧化物,然后将试样在有机盐水溶液中阳极氧化至20.0V.在恒流升压过程中,记录电压-时间曲线.借助XPS和XRD等分析手段分析阳极氧化膜结构,并对复合阳极氧化膜的生长机理进行了探讨.结果表明:含Ti处理液浸渍处理后,试样阳极氧化的电压-时间曲线斜率显著增大,阳极氧化膜是由Al2O3和TiO2构成的复合阳极氧化膜,其介电常数高于Al2O3阳极氧化膜,使阳极箔比容提高24.8%.
关键词:阳极箔; 介电常数; 浸渍; 复合阳极氧化膜;
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