Ag射频功率对热电材料β-Zn4Sb3涂层组织和电导性能的影响

来源期刊：材料保护2020年第2期

论文作者：王忠利 琚爱云

文章页码：79 - 82

关键词：β-Zn4Sb3热电涂层;磁控溅射;膜层结构;热电性能;

摘    要：目前对β-Zn4Sb3热电材料制备与掺杂的研究报道不多。研究了β-Zn4Sb3热电材料的磁控溅射并对其实施掺杂的过程,并分析了不同Ag射频功率下得到的β-Zn4Sb3热电涂层的膜层组织及其热电性能。测试结果表明:经过磁控溅射处理后试样表面形貌优化,形成了具有致密结构的表面。所有掺入Ag之后的β-Zn4Sb3涂层都比原始β-Zn4Sb3涂层达到了更高的电导率,而且电导率与Ag射频功率之间呈现正相关变化规律。没有掺入Ag的涂层具有最大的Seebeck系数,当Ag射频功率提高后试样Seebeck系数发生了降低的现象。掺入Ag之后的热电涂层试样达到了更大的功率因子;当测试温度上升后,掺入Ag的β-Zn4Sb3涂层则发生功率因子先升高后降低的变化现象。