衬底温度对PLD方法生长Si(111)基ZnO薄膜结晶质量和发光特性的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2006年第7期
论文作者：田德恒 庄惠照 薛成山 何建廷 薛守斌 张晓凯 胡丽君
关键词：PLD; ZnO; 薄膜; 六方纤锌矿结构;
摘 要：在不同衬底温度下用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)衬底上生长ZnO薄膜.通过对薄膜进行的X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收(FTIR)、光致发光谱(PL)、透射电子显微镜(TEM)和选区电子衍射(SAED)的测量,研究了衬底温度对PLD方法制备的ZnO薄膜的结晶质量、发光性质以及微观结构的影响.发现在600℃的衬底温度下可以得到结晶质量最佳的ZnO薄膜.随着晶粒直径的减小,出现量子限制效应,在红外吸收和光致发光中的峰位均产生了蓝移.
田德恒1，庄惠照1，薛成山1，何建廷1，薛守斌1，张晓凯1，胡丽君1
(1.山东师范大学,山东,济南,250014)
摘要:在不同衬底温度下用脉冲激光沉积法(PLD)在n型硅(111)衬底上生长ZnO薄膜.通过对薄膜进行的X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收(FTIR)、光致发光谱(PL)、透射电子显微镜(TEM)和选区电子衍射(SAED)的测量,研究了衬底温度对PLD方法制备的ZnO薄膜的结晶质量、发光性质以及微观结构的影响.发现在600℃的衬底温度下可以得到结晶质量最佳的ZnO薄膜.随着晶粒直径的减小,出现量子限制效应,在红外吸收和光致发光中的峰位均产生了蓝移.
关键词:PLD; ZnO; 薄膜; 六方纤锌矿结构;
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