化合物半导体材料加工中的三废防治
来源期刊：稀有金属1998年第6期
论文作者：杨钧
关键词：三废防治; GaAs; GaP;
摘 要：讨论了GaAs与GaP的毒性、中毒症状和解毒方法, 比较了砷、磷的毒性异同, 提出了在GaAs与GaP材料加工过程中开展三废防治的设想.
摘要：讨论了GaAs与GaP的毒性、中毒症状和解毒方法, 比较了砷、磷的毒性异同, 提出了在GaAs与GaP材料加工过程中开展三废防治的设想.
关键词：三废防治; GaAs; GaP;
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