SOI材料的缺陷及其表征
来源期刊：材料导报2007年第3期
论文作者：马向阳 杨德仁 夏庆锋 阙端麟
关键词：缺陷; SOI材料; 表征; SIMOX;
摘 要：简述了利用注氧隔离法(SIMOX)制备的SOI材料中产生的一些不同于体硅材料的特殊缺陷,涉及表面缺陷、Si/SiO2界面缺陷和埋氧层缺陷,包括这些缺陷的产生机制、表征方法以及一些降低和消除措施.
马向阳1，杨德仁1，夏庆锋1，阙端麟1
(1.浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027)
摘要:简述了利用注氧隔离法(SIMOX)制备的SOI材料中产生的一些不同于体硅材料的特殊缺陷,涉及表面缺陷、Si/SiO2界面缺陷和埋氧层缺陷,包括这些缺陷的产生机制、表征方法以及一些降低和消除措施.
关键词:缺陷; SOI材料; 表征; SIMOX;
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