Pseudo-MOS方法表征SIMOX SOI材料总剂量辐照效应
来源期刊：功能材料与器件学报2007年第3期
论文作者：张恩霞 杨慧 张正选
关键词：SIMOX; SOI; 总剂量辐照效应; Pseudo-MOS;
摘 要：为了缩短SOI材料的改性研究周期,利用pseudo-MOS方法研究了SIMOX SOI材料的总剂量辐照效应.试验采用硅注入绝缘埋层后退火得到改性的SIMOX SOI材料,通过对比改性前后样品在辐照前后的pseudo-MOSFET ID-VG特性曲线,分析改性工艺的影响.研究结果表明,合适的改性工艺能有效提高材料抗总剂量辐照效应的能力,pseudo-MOS方法在大大缩短SOI材料改性周期的基础上,能准确、快捷地对材料的总剂量辐照效应进行表征.
张恩霞1，杨慧1，张正选1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050)
摘要:为了缩短SOI材料的改性研究周期,利用pseudo-MOS方法研究了SIMOX SOI材料的总剂量辐照效应.试验采用硅注入绝缘埋层后退火得到改性的SIMOX SOI材料,通过对比改性前后样品在辐照前后的pseudo-MOSFET ID-VG特性曲线,分析改性工艺的影响.研究结果表明,合适的改性工艺能有效提高材料抗总剂量辐照效应的能力,pseudo-MOS方法在大大缩短SOI材料改性周期的基础上,能准确、快捷地对材料的总剂量辐照效应进行表征.
关键词:SIMOX; SOI; 总剂量辐照效应; Pseudo-MOS;
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