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前驱体加热温度对Pt-Ir合金薄膜的成分与沉积速率的影响

来源期刊：贵金属2010年第1期

论文作者：蔡宏中胡昌义陈力王云

关键词：复合材料; 金属有机物化学气相沉积; Pt-Ir合金膜; 成分; 沉积速率; composites; MOCVD; Pt-Ir alloy films; composition; deposition rate;

摘要：以乙酰丙酮铱和乙酰丙酮铂为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在钼基体上沉积了PtIr薄膜.研究了前驱体加热温度对PtIr薄膜结构、成分和沉积速率的影响.结果表明,MOCVD的PtIr薄膜为合金膜,Pt-Ir合金薄膜成分、沉积速率随前躯体加热温度变化而变化,并存在极值点.

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蔡宏中¹，胡昌义²，陈力²，王云¹

(1.昆明贵金属研究所,云南贵金属材料重点实验室,云南,昆明,650106;
2.昆明理工大学,材料与冶金工程学院,云南,昆明,650093)

摘要:以乙酰丙酮铱和乙酰丙酮铂为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在钼基体上沉积了PtIr薄膜.研究了前驱体加热温度对PtIr薄膜结构、成分和沉积速率的影响.结果表明,MOCVD的PtIr薄膜为合金膜,Pt-Ir合金薄膜成分、沉积速率随前躯体加热温度变化而变化,并存在极值点.

关键词:复合材料; 金属有机物化学气相沉积; Pt-Ir合金膜; 成分; 沉积速率; composites; MOCVD; Pt-Ir alloy films; composition; deposition rate;

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