聚合物前驱体法合成铌酸锶钡铁电薄膜
来源期刊：材料科学与工艺2004年第2期
论文作者：权茂华 赵九蓬 张贺新 强亮生
关键词：铌酸锶钡; 铁电; 薄膜; 聚合物前驱体; 柠檬酸;
摘 要：采用聚合物前驱体法制备铌酸锶钡(Srx Ba1-x Nb2O6,SBN)铁电薄膜.以柠檬酸为配位剂与金属离子配合,水作为溶剂,用乙二醇加速溶液聚合形成稳定的前驱体溶胶.采用旋转法在Si/SiO2/Ti/Pt基片上镀膜.研究了柠檬酸(CA)/乙二醇(EG)(质量比)、pH值对前驱体溶胶稳定性的影响.结果表明,当Sr-Ba-Nb前驱体溶胶的pH值为7,CA/EG=40:60时,可以获得稳定性好的溶胶.薄膜经750℃热处理,可以获得单相、表面均匀、无裂纹的铌酸锶钡铁电薄膜.
权茂华1，赵九蓬1，张贺新1，强亮生1
(1.哈尔滨工业大学,应用化学系,黑龙江,哈尔滨,150001)
摘要:采用聚合物前驱体法制备铌酸锶钡(Srx Ba1-x Nb2O6,SBN)铁电薄膜.以柠檬酸为配位剂与金属离子配合,水作为溶剂,用乙二醇加速溶液聚合形成稳定的前驱体溶胶.采用旋转法在Si/SiO2/Ti/Pt基片上镀膜.研究了柠檬酸(CA)/乙二醇(EG)(质量比)、pH值对前驱体溶胶稳定性的影响.结果表明,当Sr-Ba-Nb前驱体溶胶的pH值为7,CA/EG=40:60时,可以获得稳定性好的溶胶.薄膜经750℃热处理,可以获得单相、表面均匀、无裂纹的铌酸锶钡铁电薄膜.
关键词:铌酸锶钡; 铁电; 薄膜; 聚合物前驱体; 柠檬酸;
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