氧离子注入对金刚石薄膜微结构和力学性能的影响

来源期刊：超硬材料工程2009年第5期

论文作者：胡晓君 潘金平 陆利平

文章页码：1 - 4

关键词：金刚石薄膜;氧离子注入;微结构;力学性能;

摘    要：采用扫描电镜(SEM)、Raman光谱和纳米压痕法研究了氧离子注入对低硼掺杂金刚石薄膜微结构和力学性能的影响。结果表明,薄膜中注入较高剂量的氧离子并退火后,晶粒尺寸减小。氧离子注入导致薄膜中金刚石含量减小;1000℃退火后,薄膜中金刚石含量增加为99.8%。氧离子注入后,薄膜中的内应力由拉应力转变为压应力;退火后,薄膜内应力再转变为拉应力。氧离子注入后的金刚石薄膜的硬度较注入前的薄膜硬度有所降低,但其硬度仍然大于40 GPa并具有良好的弹性恢复率。薄膜的力学性能与薄膜中的金刚石含量、晶粒尺寸和应力值有直接关系。