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纳米金刚石薄膜的掺杂与电学性能研究

来源期刊：超硬材料工程2017年第6期

论文作者：胡晓君刘建军徐辉陈成克

文章页码：30 - 33

关键词：纳米金刚石薄膜;掺杂;电学性能;

摘要：文章综述了作者近年来在纳米金刚石薄膜掺杂和电学性能等方面的研究工作;阐述了采用离子注入方法及有限热氧化退火处理对纳米金刚石薄膜微结构和电学性能的影响,以及获得的高迁移率n型电导纳米金刚石薄膜。研究结果对于实现纳米金刚石薄膜在电子器件、电化学电极等领域的应用具有一定的价值。

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胡晓君，刘建军，徐辉，陈成克

浙江工业大学材料科学与工程学院

关键词：纳米金刚石薄膜;掺杂;电学性能;