非晶ZrO2-SiO2系薄膜及微细图形的制备
来源期刊：材料研究学报2002年第2期
论文作者：赵高扬 赵桂荣
关键词：溶胶-凝胶法; 氧化锆-氧化硅薄膜; 化学修饰; 光吸收; 微细图形;
摘 要：采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了ZrO2 SiO2系薄膜.研究了这种凝胶薄膜的FT-IR光谱特性及随紫外线照射时的变化.发现在1600～1400 cm-1之间有一些与含锆螯合物相关的峰.这些峰值随紫外线照射而减弱.表明这些螯合物发生分解.伴随着螯合物的分解.薄膜在乙醇中的溶解能力也发生变化.利用这种特性.紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜.用有机溶剂溶洗后.获得凝胶薄膜的微细图形.再进行热处理.消除薄膜中的有机物就可得到非晶质ZrO2 SiO2系薄膜的微细图形.
赵高扬1，赵桂荣1
(1.两安理工大学)
摘要:采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了ZrO2 SiO2系薄膜.研究了这种凝胶薄膜的FT-IR光谱特性及随紫外线照射时的变化.发现在1600～1400 cm-1之间有一些与含锆螯合物相关的峰.这些峰值随紫外线照射而减弱.表明这些螯合物发生分解.伴随着螯合物的分解.薄膜在乙醇中的溶解能力也发生变化.利用这种特性.紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜.用有机溶剂溶洗后.获得凝胶薄膜的微细图形.再进行热处理.消除薄膜中的有机物就可得到非晶质ZrO2 SiO2系薄膜的微细图形.
关键词:溶胶-凝胶法; 氧化锆-氧化硅薄膜; 化学修饰; 光吸收; 微细图形;
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