Al₂O₃感光薄膜的制备及其微细图形化研究

来源期刊：功能材料2014年第12期

论文作者：王哲哲 赵高扬 林林 冯卓宏 郑志强

文章页码：12079 - 24169

关键词：Al2O3薄膜;感光溶胶-凝胶;化学修饰;激光干涉;微细图形;

摘    要：提出一种利用感光溶胶-凝胶法结合紫外光刻技术制备Al2O3微细图形的方法。以Al（O-SecBu）3为前驱物,β-二酮类配体H（C10H12O2）为化学修饰剂,合成了稳定的、具有良好感光性的含Al金属螯合物,进而制备出相应的感光薄膜。研究了薄膜的紫外和红外光谱特性及其在紫外光辐照条件下的变化过程,结果表明金属螯合物薄膜在251,321和368nm处各存在较强的紫外吸收峰。随着紫外光照时间的增加,吸收峰下降,Al2O3/H薄膜表现出明显的感光特性。结合紫外光刻技术,可制备出不同形状尺寸的Al2O3微细图形,其最小线宽可达437nm。