化学修饰法制备的ZrO2-SiO2系凝胶薄膜的感光特性研究
来源期刊：功能材料2002年第2期
论文作者：赵高扬 赵桂荣
关键词：溶胶-凝胶法; 化学修饰; 微细加工; 吸光度; 氧化锆-氧化硅薄膜;
摘 要：本研究采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2@(100-x)SiO2系薄膜,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性,发现了当x＞30时,这种凝胶薄膜在335nm附近有较强的吸收峰,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAcH的π-π*迁移.当紫外光照射薄膜后,随着含Zr螯合物的分解,吸收峰也消失,并引起薄膜在有机溶剂中的溶解特性的显著变化,表现出明显的感光特性.这种薄膜经400℃、30min热处理以后,薄膜中的有机物消失,可获得非晶质的ZrO2-SiO2系薄膜,依据这一特性可以用紫外光对这类薄膜进行微细加工.
赵高扬1，赵桂荣1
(1.西安理工大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710048)
摘要:本研究采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2@(100-x)SiO2系薄膜,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性,发现了当x＞30时,这种凝胶薄膜在335nm附近有较强的吸收峰,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAcH的π-π*迁移.当紫外光照射薄膜后,随着含Zr螯合物的分解,吸收峰也消失,并引起薄膜在有机溶剂中的溶解特性的显著变化,表现出明显的感光特性.这种薄膜经400℃、30min热处理以后,薄膜中的有机物消失,可获得非晶质的ZrO2-SiO2系薄膜,依据这一特性可以用紫外光对这类薄膜进行微细加工.
关键词:溶胶-凝胶法; 化学修饰; 微细加工; 吸光度; 氧化锆-氧化硅薄膜;
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