低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜/基附着性能压痕测试分析
来源期刊：材料工程2006年第9期
论文作者：常嗣和 张湘辉 龙剑平 汪灵
关键词：金刚石薄膜; 硬质合金刀具; 附着性能; 压痕测试; 等离子体CVD;
摘 要：低压气相金刚石薄膜硬质合金刀具在直流弧光放电等离子体CVD镀膜设备上制备.基底为YG6(WC-6%Co,质量分数)硬质合金刀具.采用洛氏(HRA)、表面洛氏(HRM)、维氏(HV)硬度试验机对所制备的金刚石薄膜刀具进行压痕测试;采用扫描电镜(SEM)观察压痕形貌并定性评价膜/基附着性能.结果表明:所制备的金刚石薄膜镀膜刀具的优选膜/基附着性能压痕测试方法是表面洛氏压痕法;优选测试条件为采用120°金刚石圆锥压头,测试加载载荷441N.
常嗣和1，张湘辉1，龙剑平1，汪灵1
(1.成都理工大学,材料与化学化工学院,成都,610059;
2.成都理工大学,金刚石薄膜实验室,成都,610059)
摘要:低压气相金刚石薄膜硬质合金刀具在直流弧光放电等离子体CVD镀膜设备上制备.基底为YG6(WC-6%Co,质量分数)硬质合金刀具.采用洛氏(HRA)、表面洛氏(HRM)、维氏(HV)硬度试验机对所制备的金刚石薄膜刀具进行压痕测试;采用扫描电镜(SEM)观察压痕形貌并定性评价膜/基附着性能.结果表明:所制备的金刚石薄膜镀膜刀具的优选膜/基附着性能压痕测试方法是表面洛氏压痕法;优选测试条件为采用120°金刚石圆锥压头,测试加载载荷441N.
关键词:金刚石薄膜; 硬质合金刀具; 附着性能; 压痕测试; 等离子体CVD;
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