NVD法制备TiO2薄膜及形貌的研究
来源期刊：材料导报2004年增刊第2期
论文作者：李玉华 陈敬超 吴春萍 鲜春桥
关键词：超声雾化气相沉积法(NvD) TiO2薄膜 前驱体 拉曼光谱;
摘 要：采用一种新的制备薄膜的技术--超声雾化气相沉积法(NVD),初步研制了一套采用该法制备薄膜的设备,已成功地用该设备制备出了TiO2薄膜.对薄膜形貌进行了初步的分析和研究,并用拉曼光谱对其进行了定性分析.
李玉华1，陈敬超1，吴春萍1，鲜春桥1
(1.昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室,昆明,650093)
摘要:采用一种新的制备薄膜的技术--超声雾化气相沉积法(NVD),初步研制了一套采用该法制备薄膜的设备,已成功地用该设备制备出了TiO2薄膜.对薄膜形貌进行了初步的分析和研究,并用拉曼光谱对其进行了定性分析.
关键词:超声雾化气相沉积法(NvD) TiO2薄膜 前驱体 拉曼光谱;
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