氧化锌薄膜的拉曼光谱研究
来源期刊：功能材料2002年第6期
论文作者：李珍 曾亦可 刘梅冬 黄焱球
关键词：ZnO薄膜; 晶体结构; 拉曼光谱;
摘 要：利用拉曼光谱结合X射线衍射分析对未掺杂和掺杂的ZnO薄膜、陶瓷薄膜进行了研究.ZnO薄膜及ZnO陶瓷薄膜均由sol-gel法制备,掺杂组份有Bi2O3、Sb2O3、MnO和Cr2O3等.结果表明,未掺杂的薄膜的ZnO主晶相均表现出显著的定向生长特征,其拉曼光谱特征谱峰为437cm-1,谱峰强度随薄膜退火温度的提高略有增强.掺杂后ZnO的拉曼谱峰发生了红移.掺Bi2O3后ZnO的拉曼谱峰由347cm-1移质移至434cm-1,掺Sb2O3后ZnO的拉曼谱峰移至435cm-1,而掺杂Bi2Os、Sb2O3、MnO和Cr2O3等组份的ZnO陶瓷薄膜的ZnO拉曼谱峰则移至434cm-1,说明掺杂元素进入了ZnO晶格,引起了晶格的变化.ZnO薄膜性能不仅受次晶相组成的影响,而且受因掺杂元素进入而引起的ZnO晶格畸变的影响.
李珍1，曾亦可2，刘梅冬2，黄焱球1
(1.中国地质大学材料科学与化学工程学院,湖北,武汉,430074;
2.华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074)
摘要:利用拉曼光谱结合X射线衍射分析对未掺杂和掺杂的ZnO薄膜、陶瓷薄膜进行了研究.ZnO薄膜及ZnO陶瓷薄膜均由sol-gel法制备,掺杂组份有Bi2O3、Sb2O3、MnO和Cr2O3等.结果表明,未掺杂的薄膜的ZnO主晶相均表现出显著的定向生长特征,其拉曼光谱特征谱峰为437cm-1,谱峰强度随薄膜退火温度的提高略有增强.掺杂后ZnO的拉曼谱峰发生了红移.掺Bi2O3后ZnO的拉曼谱峰由347cm-1移质移至434cm-1,掺Sb2O3后ZnO的拉曼谱峰移至435cm-1,而掺杂Bi2Os、Sb2O3、MnO和Cr2O3等组份的ZnO陶瓷薄膜的ZnO拉曼谱峰则移至434cm-1,说明掺杂元素进入了ZnO晶格,引起了晶格的变化.ZnO薄膜性能不仅受次晶相组成的影响,而且受因掺杂元素进入而引起的ZnO晶格畸变的影响.
关键词:ZnO薄膜; 晶体结构; 拉曼光谱;
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