X射线衍射技术在薄膜残余应力测量中的应用
来源期刊：功能材料2007年第11期
论文作者：蒋维栋 蒋建清 杨帆
关键词：残余应力; 平行光镜; 毛细管; 同步辐射源X射线; 二维探测器;
摘 要：残余应力测量在薄膜材料研究中具有重要的意义,综述了薄膜残余应力X射线衍射技术测量的研究现状,其中介绍了强织构薄膜残余应力X射线衍射测量技术;同时对由于G(o)bel平行光镜、毛细管元件及二维探测器等X射线功能附件的发展,以及同步辐射源X射线的应用而带来残余应力分析的新进展进行了介绍.
蒋维栋1，蒋建清2，杨帆2
(1.哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001;
2.东南大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,211189)
摘要:残余应力测量在薄膜材料研究中具有重要的意义,综述了薄膜残余应力X射线衍射技术测量的研究现状,其中介绍了强织构薄膜残余应力X射线衍射测量技术;同时对由于G(o)bel平行光镜、毛细管元件及二维探测器等X射线功能附件的发展,以及同步辐射源X射线的应用而带来残余应力分析的新进展进行了介绍.
关键词:残余应力; 平行光镜; 毛细管; 同步辐射源X射线; 二维探测器;
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