小角X射线衍射技术在TiAlN涂层中的应用

胡明媚¹，朱丽慧¹，倪旺阳²，刘一雄²

1. 上海大学材料科学与工程学院2. Kennametal Inc.

摘 要：主要采用常规X射线衍射法(XRD)和小角X射线衍射法对微米级厚度的Ti0.5Al0.5N涂层分别进行了物相检测、晶格常数计算和残余应力测定,并对测量结果进行了比较。结果表明:常规XRD法得到的图谱中基体信息强,而小角XRD法排除了基体衍射峰的干扰,更好地反映出TiAlN涂层信息;与常规XRD相比,小角XRD技术能显著降低晶格常数测量误差,有效测定TiAlN涂层的残余应力值。

关键词：TiAlN涂层;小角X射线衍射;物相检测;晶格常数;残余应力;