磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展
来源期刊：贵金属2013年第1期
论文作者：陈松 耿永红 王传军 闻明 张俊敏 毕珺 李艳琼 谭志龙 张昆华 管伟明
文章页码：74 - 78
关键词：金属材料;粉末冶金;CoCrPt;溅射靶材;熔铸法;质量控制;
摘 要：目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材。重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题。
陈松，耿永红，王传军，闻明，张俊敏，毕珺，李艳琼，谭志龙，张昆华，管伟明
昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室
摘 要：目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材。重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题。
关键词：金属材料;粉末冶金;CoCrPt;溅射靶材;熔铸法;质量控制;
