离子镀Ti(Al)N涂层的结构与耐蚀性
来源期刊：腐蚀科学与防护技术1999年第2期
论文作者：于志明 郎丰群 金柱京 于力 徐家寅
关键词：Ti(Al)N涂层; 空心阴极离子镀; 组织结构; 耐蚀性;
摘 要：用空心阴极离子镀制备了Ti(Al)N和TiN涂层. 0.5mol/L的H2SO4溶液中极化曲线结果表明, Ti(Al)N涂层的耐蚀性优于TiN涂层. 电子探针(EPMA)、X射线衍射和扫描电镜(SEM)等分析了Ti(Al)N涂层的元素分布特征及组织结构:Al元素在界面处富集, 呈连续带状分布,并以单质状态存在;与单一TiN涂层相比,Ti(Al)N涂层为不贯穿的更致密的柱状晶和纤维状组织结构.对涂层组织结构与耐蚀性进行了探讨.
于志明1，郎丰群1，金柱京1，于力1，徐家寅1
(1.中国科学院金属腐蚀与防护研究所,金属腐蚀与防护国家重点实验室,沈阳,110015)
摘要:用空心阴极离子镀制备了Ti(Al)N和TiN涂层. 0.5mol/L的H2SO4溶液中极化曲线结果表明, Ti(Al)N涂层的耐蚀性优于TiN涂层. 电子探针(EPMA)、X射线衍射和扫描电镜(SEM)等分析了Ti(Al)N涂层的元素分布特征及组织结构:Al元素在界面处富集, 呈连续带状分布,并以单质状态存在;与单一TiN涂层相比,Ti(Al)N涂层为不贯穿的更致密的柱状晶和纤维状组织结构.对涂层组织结构与耐蚀性进行了探讨.
关键词:Ti(Al)N涂层; 空心阴极离子镀; 组织结构; 耐蚀性;
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