简介概要

高纯贵金属靶材在半导体制造中的应用与制备技术

来源期刊:贵金属2013年第S1期

论文作者:何金江 陈明 朱晓光 罗俊锋 尚再艳 贺昕 熊晓东

文章页码:79 - 83

关键词:金属材料;半导体;溅射靶材;高纯;金;银;铂;钌;

摘    要:高纯Au、Ag、Pt、Ru贵金属及其合金溅射靶材是半导体PVD工艺制程中的溅射源材料,广泛用于半导体制造工艺中,成为保证半导体器件性能和发展半导体技术必不可少及不可替代的材料。材料的高纯化、高性能贵金属及其合金靶材的制备(金属熔铸、热机械处理、粉末烧结、焊接等)以及贵金属靶材残靶及加工余料残屑的提纯回收利用是研究发展的重点,以实现贵金属靶材产品的高效增值。

详情信息展示

高纯贵金属靶材在半导体制造中的应用与制备技术

何金江,陈明,朱晓光,罗俊锋,尚再艳,贺昕,熊晓东

北京有色金属研究总院有研亿金新材料股份有限公司

摘 要:高纯Au、Ag、Pt、Ru贵金属及其合金溅射靶材是半导体PVD工艺制程中的溅射源材料,广泛用于半导体制造工艺中,成为保证半导体器件性能和发展半导体技术必不可少及不可替代的材料。材料的高纯化、高性能贵金属及其合金靶材的制备(金属熔铸、热机械处理、粉末烧结、焊接等)以及贵金属靶材残靶及加工余料残屑的提纯回收利用是研究发展的重点,以实现贵金属靶材产品的高效增值。

关键词:金属材料;半导体;溅射靶材;高纯;金;银;铂;钌;

<上一页 1 下一页 >

有色金属在线官网  |   会议  |   在线投稿  |   购买纸书  |   科技图书馆

中南大学出版社 技术支持 版权声明   电话:0731-88830515 88830516   传真:0731-88710482   Email:administrator@cnnmol.com

互联网出版许可证:(署)网出证(京)字第342号   京ICP备17050991号-6      京公网安备11010802042557号