炉室上升式BS法单晶炉的设计
来源期刊：机械设计与制造2005年第6期
论文作者：高利强 王建春 楚波
文章页码：4 - 5
关键词：单晶炉;结构;BS法;炉室上升;
摘 要：这里介绍了炉室上升式BS法单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。
高利强，王建春，楚波
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