单晶炉低速动平衡
来源期刊：机械设计与制造2009年第2期
论文作者：韩斌 廖明夫 刘军 时刚
文章页码：109 - 111
关键词：单晶炉;籽晶提升机构;低速动平衡;
摘 要：生产高精度硅晶体的单晶炉,其上部的籽晶提升机构为转轴竖直安装的非对称低速旋转机构,生产过程中下面软轴的摆动幅度是衡量单晶炉性能的重要参数之一,如果摆动过大,将直接影响所生产的硅晶体的质量。动不平衡是造成软轴摆动的重要原因之一,采用激光测振仪测量籽晶提升机构微小振动量,用影响系数法对单晶炉籽晶提升机构进行现场整机动平衡,减小了该机构振动对软体摆动的影响,提高了所拉晶体的质量。
韩斌1，廖明夫1，刘军1，时刚2
1. 西北工业大学旋转机械与风能装置测控研究所2. 西安创联新能源设备有限公司
摘 要：生产高精度硅晶体的单晶炉,其上部的籽晶提升机构为转轴竖直安装的非对称低速旋转机构,生产过程中下面软轴的摆动幅度是衡量单晶炉性能的重要参数之一,如果摆动过大,将直接影响所生产的硅晶体的质量。动不平衡是造成软轴摆动的重要原因之一,采用激光测振仪测量籽晶提升机构微小振动量,用影响系数法对单晶炉籽晶提升机构进行现场整机动平衡,减小了该机构振动对软体摆动的影响,提高了所拉晶体的质量。
关键词：单晶炉;籽晶提升机构;低速动平衡;
