一种新型的超导磁场单晶炉的研制
来源期刊：功能材料与器件学报2000年第4期
论文作者：田金法 陈诺夫 钟兴儒 林兰英 吴金良
关键词：磁场; 单晶炉;
摘 要：磁场对于半导体晶体生长过程中的熔体流动模式有着明显的影响,因而可以改善晶体的组分和杂质的分布.在半导体单晶生长过程当中利用超导磁场来抑制熔体的对流,采用这种方式既可以生长出优质的单晶又可以研究熔体的对流与扩散对生长半导体单晶的质量影响.本文报道了新近自行设计、制造的一种新型超导磁场直拉单晶炉.
田金法1，陈诺夫1，钟兴儒1，林兰英1，吴金良1
(1.中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室,国家微重力实验室,北京,100083)
摘要:磁场对于半导体晶体生长过程中的熔体流动模式有着明显的影响,因而可以改善晶体的组分和杂质的分布.在半导体单晶生长过程当中利用超导磁场来抑制熔体的对流,采用这种方式既可以生长出优质的单晶又可以研究熔体的对流与扩散对生长半导体单晶的质量影响.本文报道了新近自行设计、制造的一种新型超导磁场直拉单晶炉.
关键词:磁场; 单晶炉;
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