静电辅助气溶胶化学气相沉积法制备Al₂O₃薄膜

来源期刊：机械工程材料2009年第11期

论文作者：王耀华 贺琦 李成明 吕反修

文章页码：65 - 142

关键词：静电辅助气溶胶化学气相沉积;氧化铝;薄膜;

摘    要：以乙酰丙酮铝为前驱体,N,N-二甲基甲酰胺为溶剂,采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积（ESAVD）方法,在Si（100）衬底上制备了Al2O3薄膜,并采用场发射扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和自动划痕仪等设备对制备的薄膜进行了表征。结果表明:采用ESAVD法制备的Al2O3薄膜平整致密而且晶粒细小,薄膜与基体之间及薄膜内部都未出现开裂现象;薄膜与基体的结合力约为5.56 N;沉积得到的薄膜为化学计量比为2∶3的氧化物薄膜;退火前的薄膜为非晶态,在1 200℃退火保温2 h后薄膜转变为-αAl2O3。